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超高精度CNC三坐标测量机

来源：英锐志浏览：43 发布日期：2025-08-12

即使测量范围500 mm，也具备误差在0.58 um以下的实力! 最大允许长度测量误差 E0,MPE=(0.23+0.7L/1000))μm
理想测量机本体构成：

理想的本体结构
高本体刚性
高维的振动对策
超高精度的研磨技术
超高直线度精加工
高垂直度精加工
超高精度测长单元
高水平的控制技术

'匠”培养的精加工技术：

超高精度的研磨技术
超高直线度精加工
高垂直度精加工

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